The role of H3PO4/H2O2 ratio in controlling Sb-oxide residues and surface leakage in wet-etched InAs/GaSb long-wave infrared detectors
ZHANHAO
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DOI: 10.1016/j.micrna.2026.208809
文献链接: https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S2773012326002505
其他信息:
出版社: Elsevier BV
作者: Haoxuan Fan; Weiqiang Chen; Lidan Lu; Yuhao Chen; Mingli Dong; Lianqing Zhu
