Advances and challenges in chemical mechanical polishing of silicon carbide: materials, mechanisms, and future directions
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DOI: 10.1039/d5tc03256c
文献链接: https://pubs.rsc.org/tc/article/13/46/22921-22952/316007
其他信息:
出版社: Royal Society of Chemistry (RSC)
作者: Ailin Li; Jiakai Zhou; Xinhuan Niu; Ziliang Liu; Qing Ma; Shaobo Song; Mengqi Wang; Bin Hu

